波長色散X射線熒光光譜儀WDA-3650用于薄膜評估，同時對各種薄膜的薄膜厚度和成分進(jìn)行無損、非接觸式分析。

這是一種波長色散X熒光光譜儀（WD-XRF），可以以非破壞性和非接觸方式同時分析尺寸達(dá)~200mm的晶圓上各種薄膜的厚度和組成。XYθZ驅(qū)動樣品臺（方法）可以精確分析各種金屬膜，避免衍射射線的影響。4kW大功率X射線管可實(shí)現(xiàn)超輕元素的高精度分析，例如BPSG薄膜的痕量元素測量和硼分析。還支持C-to-C運(yùn)輸機(jī)器人（可選）。它配備了自動校準(zhǔn)（全自動每日檢查和強(qiáng)度校正功能）。

◆支持微量元素的濃度和成分分析

適用于從輕元素到重元素的各種元素：4是~92U

◆高靈敏度硼檢測儀AD-硼

我們不斷開發(fā)新的光學(xué)系統(tǒng)，例如提高硼分析能力，以提高分析的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。此外，降溫機(jī)構(gòu)和真空度穩(wěn)定機(jī)構(gòu)是穩(wěn)定的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。

◆X-Y-θ驅(qū)動級

X-Y-θ驅(qū)動樣品臺和測量方向設(shè)置程序可以在整個晶圓上精確測量薄膜厚度和成分分布。鐵電薄膜也不受衍射光束的影響。

◆應(yīng)用：

?半導(dǎo)體器件BPSG，SiO2四3N4

?摻雜多晶硅（B，P，N，AS），Wsix

?Al-Cu，TiW，TiN、TaN，PZT，BST，SBT

?MRAM

?金屬膜W，Mo，Ti，Co，Ni，Al，Cu，Ir，Pt，Ru

?磁盤CoCrTa，CoCrPt，DLC

?NiP

?磁光盤Tb-FeCo

?磁頭GMR，TMR

◆廣泛的固定測角儀產(chǎn)品陣容

我們根據(jù)膜厚和膜結(jié)構(gòu)提供最合適的固定測角儀。我們還在準(zhǔn)備一個專用的光學(xué)系統(tǒng)，可以分析硅晶圓上的Wsix薄膜。

◆全自動日常管理功能自動校準(zhǔn)

為了獲得準(zhǔn)確的分析值，必須對儀器進(jìn)行正確校準(zhǔn)。為此，必須定期測量檢查晶圓和PHA調(diào)整晶圓作為管理晶圓，以保持設(shè)備的健康狀況。這種常規(guī)校準(zhǔn)工作是自動化的，減少了操作員的工作量。這就是AutoCal功能。

◆與C-to-C自動輸送兼容

除了開放式暗盒外，還支持SMIF POD。兼容200mm以下的晶圓。此外，還可以與主機(jī)進(jìn)行SECS通信，并支持各種CIM/FA格式。

◆緊湊節(jié)能設(shè)計(jì)

主機(jī)占地面積1m2下面的緊湊型設(shè)計(jì)。無油變壓器的使用也使輔助設(shè)備更加緊湊和節(jié)能設(shè)計(jì)。

• 同時評估薄膜厚度和成分

• 適用于所有薄膜類型

• 支持小于200mm的晶圓和介質(zhì)盤

• 高分析性能、準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性

• 獲得的XYθZ驅(qū)動樣品臺，可獲得準(zhǔn)確的XRF結(jié)果

• 高靈敏度硼分析（帶AD硼通道）

• 使用可選的C到C自動加載器進(jìn)行自動校準(zhǔn)

• 無油變壓器X射線發(fā)生器

• 功耗比以前的型號低23%

產(chǎn)品規(guī)格：